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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT DIELEKTRISCHEN ISOLATIONSZONEN.
摘要
申请公布号
DE3177250(D1)
申请公布日期
1991.08.14
申请号
DE19813177250
申请日期
1981.07.14
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
IWAI, HIROSHI, TOKYO, JP
分类号
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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