发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THIN LAYERS
摘要
申请公布号 GB9113639(D0) 申请公布日期 1991.08.14
申请号 GB19910013639 申请日期 1991.06.25
申请人 HELMUT FISCHER GMBH & CO INSTITUT FUR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK 发明人
分类号 G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
地址
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