发明名称 High frequency ultrasonic system
摘要
申请公布号 US5038808(A) 申请公布日期 1991.08.13
申请号 US19900493808 申请日期 1990.03.15
申请人 S&K PRODUCTS INTERNATIONAL, INC. 发明人 HAMMOND, PETER;SCHUMACHER, KEVIN S.
分类号 B08B3/00;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/00
代理机构 代理人
主权项
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