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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03184340(A) 申请公布日期 1991.08.12
申请号 JP19890321518 申请日期 1989.12.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IKENOUE KAZUHISA
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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