| 发明名称 |
FORMATION OF DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03183768(A) |
申请公布日期 |
1991.08.09 |
| 申请号 |
JP19900006557 |
申请日期 |
1990.01.16 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MIKOSHIBA NOBUO;TSUBOUCHI KAZUO;EKI KAZUYA |
| 分类号 |
C23C16/20;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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