| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR CHEMICALLY PURIFYING AND REGENERATING SUPERPURE OXIDE SOLUTION CONSISTING OF SULFURIC ACID AND OZONE FOR USE IN CHEMICAL TREATMENT AT A TREATMENT CENTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03183602(A) |
申请公布日期 |
1991.08.09 |
| 申请号 |
JP19900221440 |
申请日期 |
1990.08.24 |
| 申请人 |
ARAMEDA INSUTORAMENTSU INC |
发明人 |
JIESU SHII DOBUSON |
| 分类号 |
C01B13/10;C01B17/90;H01L21/304 |
主分类号 |
C01B13/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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