发明名称 MASKING MEMBER
摘要
申请公布号 JPH03183758(A) 申请公布日期 1991.08.09
申请号 JP19890320828 申请日期 1989.12.11
申请人 CANON INC 发明人 TAKEMURA TSUGIKO
分类号 C23C14/04;C23C14/50;C23C16/04;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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