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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH03183758(A)
申请公布日期
1991.08.09
申请号
JP19890320828
申请日期
1989.12.11
申请人
CANON INC
发明人
TAKEMURA TSUGIKO
分类号
C23C14/04;C23C14/50;C23C16/04;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/205
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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