| 发明名称 |
A METHOD OF POSITIONING A BEAM TO A SPECIFIC PORTION OF A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0130819(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.07 |
| 申请号 |
EP19840304480 |
申请日期 |
1984.06.29 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
GOTOU, MINEO C/O PATENT DIVISON;WADA, HIROTSUGU C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
G03F9/00;G05D3/12;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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