| 发明名称 |
METHOD FOR DEVELOPMENT PROCESSING DATA OF HIERARCHIC STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03181151(A) |
申请公布日期 |
1991.08.07 |
| 申请号 |
JP19890320935 |
申请日期 |
1989.12.11 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KOMATSU KAZUHIKO;OKUBO TSUNEO |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/027;H01L21/82;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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