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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03181126(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890321785 申请日期 1989.12.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAWARABAYASHI SHINYA
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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