| 发明名称 |
SUPPLY APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR ASSEMBLING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03181140(A) |
申请公布日期 |
1991.08.07 |
| 申请号 |
JP19890318804 |
申请日期 |
1989.12.11 |
| 申请人 |
SHINKAWA LTD |
发明人 |
USHIKI HIROSHI;ENDO TAKASHI;MATSUNO HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/50;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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