发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURE OF SILICATE INGOT OF HIGH OXYGEN CONTENT BY ZONE TENSILE PROCESS DEVOID OF CRUCIBLE
摘要
申请公布号 JPH03177388(A) 申请公布日期 1991.08.01
申请号 JP19900297353 申请日期 1990.11.05
申请人 WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH 发明人 PEETAA DORAIAA;BUIRUFURIITO FUON AMON;HAINTSU BUINTERAA
分类号 C30B13/00;C30B13/08;C30B13/10;C30B13/20;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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