发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURE OF SILICATE INGOT OF HIGH OXYGEN CONTENT BY ZONE TENSILE PROCESS DEVOID OF CRUCIBLE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH03177388(A) |
申请公布日期 |
1991.08.01 |
申请号 |
JP19900297353 |
申请日期 |
1990.11.05 |
申请人 |
WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
PEETAA DORAIAA;BUIRUFURIITO FUON AMON;HAINTSU BUINTERAA |
分类号 |
C30B13/00;C30B13/08;C30B13/10;C30B13/20;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B13/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|