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发明名称 MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03175641(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 JP19890315706 申请日期 1989.12.04
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 ITO YOSHIAKI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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