发明名称 HANDLER
摘要
申请公布号 JPH03175650(A) 申请公布日期 1991.07.30
申请号 JP19890316056 申请日期 1989.12.04
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SUGISO YASUKI;WATANABE YUJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址