发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03173419(A) 申请公布日期 1991.07.26
申请号 JP19890313921 申请日期 1989.12.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONDO MASATO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址