| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING SILANE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03172759(A) |
申请公布日期 |
1991.07.26 |
| 申请号 |
JP19890312694 |
申请日期 |
1989.12.01 |
| 申请人 |
NIPPON SANSO KK |
发明人 |
SAITO HIROSHI;UTSUNOMIYA YOSHIAKI;YADA TAKASHI |
| 分类号 |
G01N30/14;G01N27/64;G01N30/64;G01N30/88 |
主分类号 |
G01N30/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
