发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03171737(A) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 JP19890311385 申请日期 1989.11.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UCHITOMI NAOTAKA
分类号 H01L21/322;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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