ETCHING DEVICE FOR TRANSPARENT FILM,申请号JP19890311376-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ETCHING DEVICE FOR TRANSPARENT FILM
摘要
申请公布号	JPH03171728(A)	申请公布日期	1991.07.25
申请号	JP19890311376	申请日期	1989.11.30
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	UCHIKOGA SHIYUUICHI
分类号	H01L21/306	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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