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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0409209(A3) 申请公布日期 1991.07.24
申请号 EP19900113786 申请日期 1990.07.18
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ISAKOZAWA, SHIGETO;KOBAYASHI, HIROYUKI
分类号 G01N23/00;G01N23/22;G01N23/225;H01J37/252;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/252 主分类号 G01N23/00
代理机构 代理人
主权项
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