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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03170663(A) 申请公布日期 1991.07.24
申请号 JP19890309684 申请日期 1989.11.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITO TATSUO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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