发明名称 PROCESS FOR PRODUCING THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP0374643(A3) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 EP19890122737 申请日期 1989.12.09
申请人 IDEMITSU KOSAN COMPANY LIMITED 发明人 KOKADO, HIROSHI;HOSHINO, KATSUYOSHI;SAJI, TETSUO;YOKOYAMA, SEIICHIRO C/O IDEMITSU KOSAN CO., LTD.
分类号 G03G5/05;(IPC1-7):C25D13/00;C25D9/00 主分类号 G03G5/05
代理机构 代理人
主权项
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