发明名称 CONVERSION METHOD OF LAYOUT PATTERN INFORMATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03161953(A) 申请公布日期 1991.07.11
申请号 JP19890302418 申请日期 1989.11.20
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 MURAKAMI TETSUKAZU;FUNATO MIE
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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