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发明名称 PRETREATMENT OF SUBSTRATE IN SELECTIVE CVD OF TUNGSTEN
摘要
申请公布号 JPH03160718(A) 申请公布日期 1991.07.10
申请号 JP19890300194 申请日期 1989.11.18
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD;WATANABE NOBUATSU 发明人 IZUMI AKIRA;KIRIE KEIJI;SHINBARA HITOSHI;KOUGAKI KOUICHI;WATANABE NOBUATSU;TEI YOUHOU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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