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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TESTING AIRTIGHTNESS OF PACKAGE
摘要
申请公布号 JPH03156961(A) 申请公布日期 1991.07.04
申请号 JP19890296425 申请日期 1989.11.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HAYASHIDA TAKESHI;WASHIMI KATSUJI
分类号 H01L23/02;H01L21/66 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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