发明名称 改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像品质之结构及方法
摘要 一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像品质之结构及方法,该结构及方法主要系在彩色滤光片上涂布一平坦层,或以一平坦层取代保护层,或在彩色滤光片上涂布一平坦层且以另一平坦层取代保护层,以有效降低画素电极的表面粗糙度,俾提高制程良率,并改善影像品质。
申请公布号 TWI290382 申请公布日期 2007.11.21
申请号 TW095104510 申请日期 2006.02.10
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 郑君丞;刘育荣;叶永辉
分类号 H01L51/40(2006.01);H05B33/10(2006.01) 主分类号 H01L51/40(2006.01)
代理机构 代理人 何文渊 台北市信义区松德路171号2楼
主权项 1.一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像 品质之结构,该结构包括: 一基板; 一多晶矽岛,系形成于该基板之上; 一氧化层,系形成于该基板之上且覆盖该多晶矽岛 ; 一闸极金属层,系相应于该多晶矽岛之位置形成于 该氧化层上; 一介电层,系形成于该氧化层之上且覆盖该闸极金 属层,该介电层系开设有复数个接触孔,该等接触 孔系贯穿该介电层与该氧化层; 一金属层,系形成于该介电层之上,且经由该等接 触孔与该多晶矽岛连接; 一彩色滤光片,系形成于该金属层之上; 一平坦层,系涂布于该彩色滤光片之上;及 一画素电极层,系形成于该平坦层之上。 2.如申请专利范围第1项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该平坦层 为一感光材料,并可为有机材料或无机材料。 3.如申请专利范围第1项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该介电层 可为有机材料或无机材料。 4.如申请专利范围第1项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该基板可 为塑胶、玻璃、石英或矽晶圆。 5.如申请专利范围第1项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该结构系 可应用于一N型、P型或互补型薄膜电晶体之画素 架构。 6.如申请专利范围第5项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该薄膜电 晶体可为非晶矽薄膜电晶体、微晶矽薄膜电晶体 或多晶矽薄膜电晶体。 7.一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像 品质之方法,该方法包括下列步骤: 提供一基板; 于该基板上形成一多晶矽岛; 于该基板上形成一氧化层,且该氧化层系覆盖该多 晶矽岛; 在相应于该多晶矽岛之位置形成一闸极金属层于 该氧化层上; 于该氧化层上形成一介电层,且该介电层系覆盖该 闸极金属; 于该介电层上开设复数个接触孔,使该等接触孔系 贯穿该介电层与该氧化层而分别连通至该多晶矽 岛; 于该介电层上形成一金属层; 于该金属层上形成一彩色滤光片; 于该彩色滤光片上涂布一平坦层;及 于该平坦层上形成一画素电极层。 8.如申请专利范围第7项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该平坦层 为一感光材料,并可为有机材料或无机材料。 9.如申请专利范围第7项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该介电层 可为有机材料或无机材料。 10.如申请专利范围第7项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该基板可 为塑胶、玻璃、石英或矽晶圆。 11.如申请专利范围第7项所述之改善有机发光二极 体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该方法系 可应用于一N型、P型或互补型薄膜电晶体之画素 架构。 12.如申请专利范围第11项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该薄膜 电晶体可为非晶矽薄膜电晶体、微晶矽薄膜电晶 体或多晶矽薄膜电晶体。 13.一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像 品质之结构,该结构包括: 一基板; 一多晶矽岛,系形成于该基板之上; 一氧化层,系形成于该基板之上且覆盖该多晶矽岛 ; 一闸极金属层,系相应于该多晶矽岛之位置形成于 该氧化层上; 一彩色滤光片,系形成于该氧化层之上且覆盖该闸 极金属层,该彩色滤光片系开设有复数个接触孔, 该等接触孔系贯穿该彩色滤光片与该氧化层; 一金属层,系形成于该彩色滤光片之上,且经由该 等接触孔与该多晶矽岛连接; 一平坦层,系涂布于该金属层之上;及 一画素电极层,系形成于该平坦层之上。 14.如申请专利范围第13项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该平坦 层为一感光材料,并可为有机材料或无机材料。 15.如申请专利范围第13项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该基板 可为塑胶、玻璃、石英或矽晶圆。 16.如申请专利范围第13项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,该结构系可 应用于一N型、P型或互补型薄膜电晶体之画素架 构。 17.如申请专利范围第16项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该薄膜 电晶体可为非晶矽薄膜电晶体、微晶矽薄膜电晶 体或多晶矽薄膜电晶体。 18.一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像 品质之方法,该方法包括下列步骤: 提供一基板; 于该基板上形成一多晶矽岛; 于该基板上形成一氧化层,且该氧化层系覆盖该多 晶矽岛; 在相应于该多晶矽岛之位置形成一闸极金属层于 该氧化层上; 于该氧化层上形成一彩色滤光片,且该彩色滤光片 系覆盖该闸极金属; 于该彩色滤光片上开设复数个接触孔,使该等接触 孔系贯穿该彩色滤光片与该氧化层而分别连通至 该多晶矽岛; 于该彩色滤光片上形成一金属层; 于该金属层上涂布一平坦层;及 于该平坦层上形成一透明画素电极层。 19.如申请专利范围第18项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该平坦 层为一感光材料,并可为有机材料或无机材料。 20.如申请专利范围第18项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该基板 可为塑胶、玻璃、石英或矽晶圆。 21.如申请专利范围第18项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该方法 系可应用于一N型、P型或互补型薄膜电晶体之画 素架构。 22.如申请专利范围第21项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该薄膜 电晶体可为非晶矽薄膜电晶体、微晶矽薄膜电晶 体或多晶矽薄膜电晶体。 23.一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像 品质之结构,该结构包括: 一基板; 一多晶矽岛,系形成于该基板之上; 一氧化层,系形成于该基板之上且覆盖该多晶矽岛 ; 一闸极金属层,系相应于该多晶矽岛之位置形成于 该氧化层上; 一彩色滤光片,系形成于该氧化层之上且覆盖该闸 极金属层; 一第一平坦层,系涂布于该彩色滤光片之上,该第 一平坦层系开设有复数个接触孔,该等接触孔系贯 穿该第一平坦层、该彩色滤光片与该氧化层; 一金属层,系形成于该第一平坦层之上,且经由该 等接触孔与该多晶矽岛连接; 一第二平坦层,系涂布于该金属层之上;及 一画素电极层,系形成于该平坦层之上。 24.如申请专利范围第23项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该第一 平坦层及第二平坦层为一感光材料,并可为有机材 料或无机材料。 25.如申请专利范围第23项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该基板 可为塑胶、玻璃、石英或矽晶圆。 26.如申请专利范围第23项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,该结构系可 应用于一N型、P型或互补型薄膜电晶体之画素架 构。 27.如申请专利范围第26项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之结构,其中该薄膜 电晶体可为非晶矽薄膜电晶体、微晶矽薄膜电晶 体或多晶矽薄膜电晶体。 28.一种改善有机发光二极体整合彩色滤光片影像 品质之方法,该方法包括下列步骤: 提供一基板; 于该基板上形成一多晶矽岛; 于该基板上形成一氧化层,且该氧化层系覆盖该多 晶矽岛; 在相应于该多晶矽岛之位置形成一闸极金属层于 该氧化层上; 于该氧化层上形成一彩色滤光片,且该彩色滤光片 系覆盖该闸极金属层; 于该彩色滤光片上涂布一第一平坦层; 于该第一平坦层及彩色滤光片上开设复数个接触 孔,使该等接触孔系贯穿该第一平坦层、彩色滤光 片与该氧化层而分别连通至该多晶矽岛; 于该第一平坦层上形成一金属层; 于该金属层上涂布一第二平坦层;及 于该第二平坦层上形成一透明画素电极层。 29.如申请专利范围第28项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该第一 平坦层及第二平坦层为一感光材料,并可为有机材 料或无机材料。 30.如申请专利范围第28项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该基板 可为塑胶、玻璃、石英或矽晶圆。 31.如申请专利范围第28项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,该结构系可 应用于一N型、P型或互补型薄膜电晶体之画素架 构。 32.如申请专利范围第31项所述之改善有机发光二 极体整合彩色滤光片影像品质之方法,其中该薄膜 电晶体可为非晶矽薄膜电晶体、微晶矽薄膜电晶 体或多晶矽薄膜电晶体。 图式简单说明: 图一为习知技术之有机发光二极体整合彩色滤光 片之结构图。 图二为另一习知技术之有机发光二极体整合彩色 滤光片之结构图。 图三为本发明之改善有机发光二极体整合彩色滤 光片影像品质之第一实施例结构图。 图四为本发明之改善有机发光二极体整合彩色滤 光片影像品质之第二实施例结构图。 图五为本发明之改善有机发光二极体整合彩色滤 光片影像品质之第三实施例结构图。
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