MANUFACTURE OF IC CIRCUIT,申请号JP19890295142-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF IC CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH03156968(A)	申请公布日期	1991.07.04
申请号	JP19890295142	申请日期	1989.11.15
申请人	SONY CORP	发明人	YAMAGUCHI TSUGIO
分类号	H01L27/118;H01L21/82	主分类号	H01L27/118
代理机构		代理人
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