| 发明名称 |
MEASURING APPARATUS FOR RADIATION TEMPERATURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03156326(A) |
申请公布日期 |
1991.07.04 |
| 申请号 |
JP19890296877 |
申请日期 |
1989.11.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
UEHARA YUJI;KOBAYASHI KAZUO;SAWADA SHIGETOMO;SATO FUMIHIKO |
| 分类号 |
G01J5/08;C23C14/54;G01J5/00;G01J5/10;H01L21/203;H01L21/205 |
主分类号 |
G01J5/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
