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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号
JPH03155132(A)
申请公布日期
1991.07.03
申请号
JP19890295807
申请日期
1989.11.13
申请人
NEC CORP
发明人
IDE YUICHI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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