发明名称 FRAME CONVEYANCE SWITCHING MECHANISM AND SWITCHING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH03155141(A) 申请公布日期 1991.07.03
申请号 JP19890294000 申请日期 1989.11.14
申请人 MARINE INSTR CO LTD 发明人 URAMOTO IWAMI;MIYOSHI HIDEAKI;NOMURA HISASHI
分类号 H01L21/52;H01L21/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址