辐射线感应型正光阻组成物

摘要

一种正光阻组成物，包括1，2-重氮化合物及含有下列通式之聚酚化合物(Ⅰ)之硷溶性树脂；□ (Ⅰ)其中R为C1-C5烷基或C1-C5烷氧基，而且n为0至3之数，该组成物具有优良的感光度，改良的解析度及耐热性。