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发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION METHOD OF AL
摘要
申请公布号 JPH03153862(A) 申请公布日期 1991.07.01
申请号 JP19890290017 申请日期 1989.11.09
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 YOSHIDA YASUYUKI;KOBAYASHI TOSHIRO;NAKAGAWA YOSHIKIYO;HANANAKA KATSUYASU
分类号 C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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