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发明名称 ION BEAM WORKING DEVICE, ION BEAM SPUTTERING DEVICE AND ION BEAM MIXING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03150354(A) 申请公布日期 1991.06.26
申请号 JP19890289256 申请日期 1989.11.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 KADOOKA HIDESHI;ARIMATSU KEIJI;OKA YUZO
分类号 C23C14/32;C23C14/46 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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