| 发明名称 |
ION SOURCE DEVICE AND ITS COMPOSITION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03149732(A) |
申请公布日期 |
1991.06.26 |
| 申请号 |
JP19900136938 |
申请日期 |
1990.05.25 |
| 申请人 |
MAIKURION LP |
发明人 |
BIRII DABURIYU UOODO;RANDOORU JII PAASHIBARU |
| 分类号 |
H01J27/26;H01J37/08;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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