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发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03150362(A)
申请公布日期
1991.06.26
申请号
JP19890288776
申请日期
1989.11.08
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAJITA NAOYUKI
分类号
C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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