发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ETCHING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03150372(A) |
申请公布日期 |
1991.06.26 |
申请号 |
JP19890286410 |
申请日期 |
1989.11.02 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OGAWA YOSHIAKI;NOGUCHI HIROYUKI;HARUYAMA MITSURU;EGAWA HIDETOSHI |
分类号 |
C23F1/00;C23F1/08;H01L21/306;H05K3/06 |
主分类号 |
C23F1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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