发明名称 Process of fabricating a heterojunction field effect transistor
摘要
申请公布号 US5026655(A) 申请公布日期 1991.06.25
申请号 US19890410070 申请日期 1989.09.21
申请人 NEC CORPORATION 发明人 OHATA, KEIICHI
分类号 H01L29/812;H01L21/203;H01L21/337;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/205;H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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