发明名称
摘要
申请公布号 JPH0341433(B2) 申请公布日期 1991.06.24
申请号 JP19800502624 申请日期 1980.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;C30B15/00;C30B15/20;C30B27/02;C30B29/40;C30B33/00;H01L21/208 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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