主权项 |
1﹒一种电镀靶和砷之方法,该方法包括将电流通过阴极,重镀浴及阳极,该电镀浴包括钯来源及砷来源且其导电性大于10─3欧姆/公分且pH値大于7,该钯来源包括钯络合物离子与络合剂,该结合剂选自氨,二氨基丙烷,1,4─二氨基丁烷,1,6─氨基己烷,及2─羟基─1,3─二氨基丙烷,该砷来源选自AsO3,A5205,KH2A3O4,K2HAsO4,K3AsO。,Na2H3AsO4,Na2AsO4,Na3AsO4,K3AsO3,KAsO2,Na3AsO3,NaAsO4及Na4As2O7,该电镀浴所具有之钯浓度为0﹒005至1﹒0莫耳,而砷浓度自0﹒01莫耳至0﹒1莫耳。2﹒如申请专利范围第1项之方法,其中,该二氨基丙烷是1,3─二胺基丙烷。3﹒如申请专利范围第1项之方法,其中,砷来源系选自As2O3,As2O5。4﹒如申请专利范围第1项之方法,其中,该电镀浴包含界面活性剂及增亮剂。5﹒如申请专利范围第1项之方法,其中,该电镀浴更包含磷酸盐缓冲剂。6﹒如申请专利范围第1项之方法,其中,钯在电镀浴之浓度为0﹒05至0﹒3莫耳。 |