| 发明名称 |
PROCEDE POUR DEPOSER PAR DECHARGE LUMINESCENTE DES COUCHES MULTIPLES DE MATIERES AMORPHES AYANT UNE COMPOSITION VARIABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2639653(B1) |
申请公布日期 |
1991.06.21 |
| 申请号 |
FR19890015349 |
申请日期 |
1989.11.22 |
| 申请人 |
ENTRICERCHE SPA;AGIP SPA |
发明人 |
DARIO DELLA SALA;CIRO OSTRIFATE |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/22;C23C16/515;C23C16/52;(IPC1-7):C23C14/40;C23C14/14 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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