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发明名称 RESISTANCE MEASURING APPARATUS BY ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH03144378(A) 申请公布日期 1991.06.19
申请号 JP19890284516 申请日期 1989.10.31
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 NAKAYAMA HAJIME;YASUTAKE AKIRA;SHIRAHATA HARUO
分类号 G01R27/02 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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