发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03142385(A) 申请公布日期 1991.06.18
申请号 JP19890281034 申请日期 1989.10.27
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 HATAKEYAMA SHIGERU
分类号 G01R31/28;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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