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发明名称 Continuous semiconductor substrate processing system
摘要
申请公布号 US5024570(A) 申请公布日期 1991.06.18
申请号 US19890403355 申请日期 1989.09.06
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 KIRISEKO, TADASHI;TANI, HIROMICHI;SOMA, NORIKO;SHIGEMI, NOBUHISA;TOYODA, TAKAYUKI
分类号 B65H85/00;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 B65H85/00
代理机构 代理人
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