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发明名称 HEAT TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH03141639(A) 申请公布日期 1991.06.17
申请号 JP19890281151 申请日期 1989.10.26
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKAGAWA YASUHITO
分类号 H01L21/324;H01L21/26;H01L21/265 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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