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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03138978(A) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 JP19890276266 申请日期 1989.10.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 INANO SHIGERU
分类号 H01L21/768;H01L21/321;H01L21/60;H01L29/41 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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