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发明名称
ION-IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03136238(A)
申请公布日期
1991.06.11
申请号
JP19890274618
申请日期
1989.10.20
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUJII HARUHISA;MUTO HIROTAKA;NAKANISHI KOICHIRO
分类号
H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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