发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH03137091(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890272543 申请日期 1989.10.19
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SHIBATA MASATOMO
分类号 C30B15/22;H01L21/208 主分类号 C30B15/22
代理机构 代理人
主权项
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