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发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03135021(A) 申请公布日期 1991.06.10
申请号 JP19890273341 申请日期 1989.10.20
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KURONO YOICHI;KAGATSUME SATORU
分类号 C23C14/56;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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