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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03134174(A) 申请公布日期 1991.06.07
申请号 JP19890271030 申请日期 1989.10.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI TORU;TSUTAHARA KOUICHIROU
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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