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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH03134937(A) 申请公布日期 1991.06.07
申请号 JP19890271675 申请日期 1989.10.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 HASHIMOTO ISAO
分类号 H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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