| 发明名称 |
ORGANIC METAL VAPOR PHASE GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03133123(A) |
申请公布日期 |
1991.06.06 |
| 申请号 |
JP19890272227 |
申请日期 |
1989.10.19 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
TANAKA SHUICHI;OKUBO NORIO |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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